外延炉一览
• 筒式外延炉MT7700、MT7811K
• RF平板式外延炉
• 单片式外延炉
• LPE3061&LPE2061 外延炉
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MT系列外延炉性能
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单片式外延炉性能
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RF平板式外延炉性能
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• 良好的表面质量和无滑移线
• 炉内厚度均匀性±5%
• 炉内电阻均匀性±5%
• 过渡区窄
• 减压外延
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• 良好的厚度和电阻率均匀性
• 超强的加工能力
• 薄外延加工能力
• 8英寸外延片加工能力
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• 高产出
• 过渡区窄
• 良好的厚度和电阻率均匀性
• 大尺寸和双腔体设计
• 厚外延加工能力
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外延设备一览
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Centura机台
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CSD
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LPE 3061
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ASM E2000
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外延测试设备
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公司具有一套完备先进的外延表征设备，以确保外延片的质量达到客户的要求。
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MCV530
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SSM495Hg-Probe CV System
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CDE 4-Point Probe
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Surface scan SP1
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QS2200M Accent FTIR
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ADE 9300
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SSM SRP 2000
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Agilent ICP MS7500CS
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OLYMPUS MX50
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外延辅助设备
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日产130吨的超纯水系统。所产纯水电阻率达18.2MΩ，颗粒度和TOC含量极低，达到 国内领先水平。
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美国Verteq公司的清洗设备。结合了超稀化学溶液和先进的兆声清洗技术，可高效 去除晶片表面的颗粒、痕量金属和有
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新傲科技采用SIMOX，BONDING，SIMBOND和SSS四种工艺，利用先进设备来制备SOI材料，以确保圆片能够达到国际半导体标准，并能够满足当今世界主流IC生产线的要求。 依靠强大而持续的技术支持，整合国产化衬底片良好的性价比以及强大而灵活的加工能力优势，向客户提供专业化的外延服务。
