上海新傲科技股份有限公司

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序号	特征	参数	测试方法
1	外延层掺杂剂	P,P+:Boron N,N+:Phosphorus, Arsine
2	外延层晶向	<100>,<111>
3	外延层电阻率	P,N:10^-1 ∽ 10²Ω·cm	ASTM F723
4	外延层电阻率中心值偏差	≤±5%	For 6'
5	外延层电阻率均匀性	≤±3%	For 6'
6	外延层厚度	1 to 100 Micrometer	ASTM F95、F110
7	外延层厚度中心值偏差	≤±5%	For 6'
8	外延层厚度均匀性	≤±3%	For 6'
9	堆垛层错密度性	10/cm²	ASTM F1810
10	滑移线	5条，总长度不超过圆片半径	ASTM F1725 F1726
11	雾	NONE	ASTM F523
12	划伤	NONE	ASTM F523
13	凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪	NONE	ASTM F523
14	崩边	NONE	ASTM F523
15	冠状边缘	表面上凸起物高度不超过1/3延层厚度	To be defined
16	异物	NONE	ASTM F523
17	背面沾污	NONE	ASTM F523
18	点缺陷	SEMI标准	ASTM F523

新傲科技采用SIMOX，BONDING，SIMBOND和SSS四种工艺，利用先进设备来制备SOI材料，以确保圆片能够达到国际半导体标准，并能够满足当今世界主流IC生产线的要求。依靠强大而持续的技术支持，整合国产化衬底片良好的性价比以及强大而灵活的加工能力优势，向客户提供专业化的外延服务。