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序号
特征
参数
测试方法
1
外延层掺杂剂
P,P+:Boron N,N+:Phosphorus, Arsine
2
外延层晶向
<
100
>
,
<
111
>
3
外延层电阻率
P,N:10
-1
∽ 10
2
Ω·cm
ASTM F723
4
外延层电阻率中心值偏差
≤±5%
For 6'
5
外延层电阻率均匀性
≤±3%
For 6'
6
外延层厚度
1 to 100 Micrometer
ASTM F95、F110
7
外延层厚度中心值偏差
≤±5%
For 6'
8
外延层厚度均匀性
≤±3%
For 6'
9
堆垛层错密度性
10/cm
2
ASTM F1810
10
滑移线
5条,总长度不超过圆片半径
ASTM F1725 F1726
11
雾
NONE
ASTM F523
12
划伤
NONE
ASTM F523
13
凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪
NONE
ASTM F523
14
崩边
NONE
ASTM F523
15
冠状边缘
表面上凸起物高度不超过1/3延层厚度
To be defined
16
异物
NONE
ASTM F523
17
背面沾污
NONE
ASTM F523
18
点缺陷
SEMI标准
ASTM F523
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