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序号 特征 参数 测试方法
1 外延层掺杂剂 P,P+:Boron N,N+:Phosphorus, Arsine
2 外延层晶向 <100>,<111>
3 外延层电阻率 P,N:10-1 ∽ 102Ω·cm ASTM F723
4 外延层电阻率中心值偏差 ≤±5% For 6'
5 外延层电阻率均匀性 ≤±3% For 6'
6 外延层厚度 1 to 100 Micrometer ASTM F95、F110
7 外延层厚度中心值偏差 ≤±5% For 6'
8 外延层厚度均匀性 ≤±3% For 6'
9 堆垛层错密度性 10/cm2 ASTM F1810
10 滑移线 5条,总长度不超过圆片半径 ASTM F1725 F1726
11 NONE ASTM F523
12 划伤 NONE ASTM F523
13 凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪 NONE ASTM F523
14 崩边 NONE ASTM F523
15 冠状边缘 表面上凸起物高度不超过1/3延层厚度 To be defined
16 异物 NONE ASTM F523
17 背面沾污 NONE ASTM F523
18 点缺陷 SEMI标准 ASTM F523

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